特性：流量传感器搭载，确认小型工件的吸着情况。
业界初首发搭载流量传感器型产品同时也备有以往搭载压力传感器及无压力传感器型真空装置单
元。
半导体关联装置（芯片封装，半导体）及小型吸着搬送装置最适合。
• 超小型也可以实现大流量真空切换。
• 真空破坏空气流量的调整方法。
真空破坏空气流量调整螺丝型，其他经济型固定真空破坏空气流量型（0.5MPa供给时，9.5l/
min[ANR] 以上）齐备。
特性
规格
流量传感器规格
无压力显示真空传感器规格
电磁阀规格
真空供给主阀门规格
真空破坏机能
真空破坏机能
使用流体 空气（JIS B 8392-1:「等级1.2.1～2.4.3」基准）、真空
使用压力范围 0.3～0.7MPa
使用真空压力 -90～0kPa
使用温度范围 5～50℃（不结冻）
使用湿度范围 35～85%RH（不结露）
耐振动性/冲击性 50m/s
2以下/150m/s
2以下
保护 IP40相当
给油 不要
耐压性
空气供给回路 1.05MPa
真空回路 0.2MPa
额定电压 DC24V±10%
消费电流 30mA以下（无负荷时）
使用压力范围 -90kPa～0.2MPa
耐压 0.3MPa
模拟输出 1～5V（类比特性，继续负荷阻抗50K?以上）
压力特性 ±10%F.S.以下（基准温度25℃）
温度特性 ±0.6%F.S./℃以下（基准温度25℃）
重复精度 ±2%F.S.以下
应答时间 5mesc以下（传感器单体）
输出阻抗 1K?
-V1（ 1点模拟类比输出）
额定电压 DC10.8～30（ ）
消费电流 20mA
压力检出方法 扩散半导体压力传感器
耐压性 1MPa
模拟类比
输出
压力检出范围 -100～0kPa
输出电压 1～5V
零点电压 1±0.04V
峰值电压 4±0.04V
输出电流 1mA以下
温度特性 ±2%F.S.以下（基准温度25℃）
直线性 ±0.5%F.S.以下
定格电压 DC24V ±10%
消费电力 1.2W（ LED付 ）
过电压保护回路 有
动作表示灯 通电时，绿色LED点灯
手动操作 按押& LOCK式
动作方式 先导阀反应间接动作
阀机能 常闭
应答时间
OFF→ON 7msec
ON→OFF 8.5msec
动作方式 直接动作
机能 常闭
应答时间
OFF→ON 3.5msec
ON→OFF 2.5msec
破坏空气流量
真空破坏空气流量无调整螺丝型
9.5l/min(ANR) 以上( 0.5MPa供给时)
真空破坏空气流量带调整螺丝型
约0～9.5l/min(ANR)( 0.5MPa供给时)