晶圆处理工具，采用耐高温、防静电的PEEK做接触的真空吸笔盘面，后接真空发生器，可以持续性的保持良好的真空来源，同时PEEK具有耐高温、耐磨损、高纯度等优点，保证了真空吸笔的质量稳定。1、在空气中的最高工作温度非常高（持续250°C ，短时间内可高达310°C）2、在更高的温度下，还具有较高的机械强度、刚度和抗蠕变性能。3、优越的耐化学性和抗水解性4、绝佳的耐磨表现5、良好的尺寸稳定性6、卓越的抗高能量辐射性能（gamma和X射线）7、固有的低可燃性，以及燃烧过程中极低水平的烟雾扩散。
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